Технологічні засади виготовлення плівкових елементів захисту методами фотолітографії
Loading...
Date
Authors
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
бакалавр
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Abstract
Description
Keywords
Citation
Литвін М. В. Технологічні засади виготовлення плівкових елементів захисту методами фотолітографії [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня бакалавр / Максим Віталійович Литвін ; наук. керівник Дроздов А. М. ; Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут». — ІКМ-422.05. — Харків, 2026. — 103с.: іл.