Дослідження реакційної дифузії в багатошарових плівкових структурах Mo-Si

Вантажиться...
Ескіз

Дата захисту

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Заклад вищої освіти

Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"

Освітньо-кваліфікаційний рівень

магістр

Напрям підготовки бакалаврів

6.040204 прикладна фізика

Шифр і назва спеціальності

105 Прикладна фізика та наноматеріали

Освітня програма

Прикладна фізика та наноматеріали для енергетики, медицини, радіоелектроніки та телекомунікацій

Назва спеціалізації

Форма навчання

денна

Випускаюча кафедра

Анотація

Опис

Ключові слова

Бібліографічний опис

Вуєць О.Є. Дослідження реакційної дифузії в багатошарових плівкових структурах Mo-Si [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Вуєць Олександр Євгенович ; наук. керівник Зубарєв Є.М. ; Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут». — ІКМ-М322б - 02 — Харків, 2023. — 97 с. : 23іл.

Шифр роботи

ІКМ-М322б - 02

Підтвердження

Рецензія

Додано до

Згадується в