Розробка УФ фотолітографічного комплексу
Loading...
Date
Authors
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
магістр
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Abstract
Description
Keywords
Citation
Тарасов Д. О. Розробка УФ фотолітографічного комплексу [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Тарасов Даніл Олексійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ-М422 - Харків, 2023. - 90с. + Презентація