Розробка УФ фотолітографічного комплексу
Вантажиться...
Дата захисту
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Заклад вищої освіти
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Освітньо-кваліфікаційний рівень
магістр
Напрям підготовки бакалаврів
Шифр і назва спеціальності
153 Мікро та наносистемна техніка
Освітня програма
Мікро- та наносистемна техніка
Назва спеціалізації
Мікро та наносистемна техніка для сонячної енергетики
Форма навчання
денна
Випускаюча кафедра
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Тарасов Д. О. Розробка УФ фотолітографічного комплексу [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Тарасов Даніл Олексійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ-М422 - Харків, 2023. - 90с. + Презентація
Шифр роботи
ІКМ-М422