Розробка УФ фотолітографічного комплексу

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorТарасов, Даніл Олексійович
dc.date.accessioned2024-10-07T12:57:53Z
dc.date.available2024-10-07T12:57:53Z
dc.date.issued2023-12
dc.identifier.citationТарасов Д. О. Розробка УФ фотолітографічного комплексу [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Тарасов Даніл Олексійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ-М422 - Харків, 2023. - 90с. + Презентаціяuk
dc.identifier.urihttp://repositorygt.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/23393
dc.language.isoukuk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"uk
dc.titleРозробка УФ фотолітографічного комплексуuk
thesis.degree.codeІКМ-М422uk
thesis.degree.departamentФізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетикиuk
thesis.degree.levelмагістрuk
thesis.degree.programМікро- та наносистемна технікаuk
thesis.degree.specializationМікро та наносистемна техніка для сонячної енергетикиuk
thesis.degree.specialty153 Мікро та наносистемна технікаuk
thesis.degree.trainingденнаuk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Poiasniuvalna_zapyska_2024_Tarasov_D_O.pdf
Розмір:
4.91 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра «Мікро- та наноелектроніка» (2023, осін.)