Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію
Вантажиться...
Дата захисту
Автори
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Заклад вищої освіти
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Освітньо-кваліфікаційний рівень
магістр
Напрям підготовки бакалаврів
Шифр і назва спеціальності
153 Мікро та наносистемна техніка
Освітня програма
Мікро- та наносистемна техніка
Назва спеціалізації
Мікро та наносистемна техніка для сонячної енергетики
Форма навчання
денна
Випускаюча кафедра
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Коровін Д. В. Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Коровін Дмитро Валерійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ- М423 - Харків, 2024. - 102с. + Презентація
Шифр роботи
ІКМ-423М