Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію
Loading...
Date
Authors
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
магістр
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Abstract
Description
Keywords
Citation
Коровін Д. В. Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Коровін Дмитро Валерійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ- М423 - Харків, 2024. - 102с. + Презентація