Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКоровін, Дмитро Валерійович
dc.date.accessioned2024-12-19T12:47:53Z
dc.date.available2024-12-19T12:47:53Z
dc.date.issued2024-12
dc.identifier.citationКоровін Д. В. Розробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадмію [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня магістр / Коровін Дмитро Валерійович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ- М423 - Харків, 2024. - 102с. + Презентаціяuk
dc.identifier.urihttp://repositorygt.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/24375
dc.language.isoukuk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"uk
dc.titleРозробка технології формування фотолітографічних шаблонів для шарів контактної металізації елементів захисту радіоелектронної апаратури на основі плівок телуриду кадміюuk
thesis.degree.codeІКМ-423Мuk
thesis.degree.departamentФізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетикиuk
thesis.degree.levelмагістрuk
thesis.degree.programМікро- та наносистемна технікаuk
thesis.degree.specializationМікро та наносистемна техніка для сонячної енергетикиuk
thesis.degree.specialty153 Мікро та наносистемна технікаuk
thesis.degree.trainingденнаuk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Poiasniuvalna_zapyska_2024_Korovin_D_V.pdf
Розмір:
4.06 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра «Мікро- та наноелектроніка» (2024, осін.)