Вплив параметрів нереактивного магнетронного розпилення на структурні властивості тонких плівок молібдену
Вантажиться...
Дата захисту
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Заклад вищої освіти
Національний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"
Освітньо-кваліфікаційний рівень
бакалавр
Напрям підготовки бакалаврів
Шифр і назва спеціальності
153 Мікро та наносистемна техніка
Освітня програма
Мікро- та наносистемна техніка
Назва спеціалізації
Мультимедійні інформаційні технології і системи
Форма навчання
денна
Випускаюча кафедра
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Єлфімов К. В. Вплив параметрів нереактивного магнетронного розпилення на структурні властивості тонких плівок молібдену [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня бакалавр / Єлфімов Кирило Володимирович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ-420 - Харків, 2024. - 76с. + Презентація
Шифр роботи
ІКМ-420