Вплив параметрів нереактивного магнетронного розпилення на структурні властивості тонких плівок молібдену

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЄлфімов, Кирило Володимирович
dc.date.accessioned2024-10-07T12:47:33Z
dc.date.available2024-10-07T12:47:33Z
dc.date.issued2024-06
dc.identifier.citationЄлфімов К. В. Вплив параметрів нереактивного магнетронного розпилення на структурні властивості тонких плівок молібдену [Електронний ресурс] : кваліфікаційна робота освітньо-кваліфікаційного рівня бакалавр / Єлфімов Кирило Володимирович ; наук. керівник Кіріченко М. В. ; Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут". - ІКМ-420 - Харків, 2024. - 76с. + Презентаціяuk
dc.identifier.urihttp://repositorygt.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/23392
dc.language.isoukuk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічній інститут"uk
dc.titleВплив параметрів нереактивного магнетронного розпилення на структурні властивості тонких плівок молібденуuk
thesis.degree.codeІКМ-420uk
thesis.degree.departamentФізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетикиuk
thesis.degree.levelбакалаврuk
thesis.degree.programМікро- та наносистемна технікаuk
thesis.degree.specializationМультимедійні інформаційні технології і системиuk
thesis.degree.specialty153 Мікро та наносистемна технікаuk
thesis.degree.trainingденнаuk

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Poiasniuvalna_zapyska_2024_Yelfimov_K_V.pdf
Розмір:
1.02 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра «Мікро- та наноелектроніка» (2024, весн.)